تنتج Shanghai Microsystems الجرافين أحادي الطبقة عالي الجودة مباشرة على الركيزة الجرمانيوم

نشرت التقارير العلمية الدورية العلمية مؤخراً فرقة عمل SOI وفرقة عمل الموصلية الفائقة التابعة للمختبر المفتاح للمواد الوظيفية لعلوم المواد والتكنولوجيا ، الأكاديمية الصينية للعلوم ، باستخدام ترسب البخار الكيميائي (CVD). تم تحضير الجرافين أحادي الطبقات الموحد ، الموحد ، عالي الجودة مباشرة على ركيزة الجرمانيوم. كان المقال بعنوان النمو المباشر لفيلم الجرافين على الركيزة الجرمانيوم.

الجرافين ، وهو طبقة أحادية الصلابة من الجرافيت ، عبارة عن بنية ثنائية الأبعاد يتم فيها ترتيب ذرات الكربون في شكل قرص العسل الذي يتكون من رابطة SP2. في عام 2004 ، اكتشف اثنان من العلماء في جامعة مانشستر في المملكة المتحدة الجرافين باستخدام تجريد ميكانيكي وفاز بجائزة نوبل في الفيزياء في عام 2010. منذ اكتشاف الجرافين ، لديه آفاق تطبيقات رائعة بسبب الميكانيكية والكهربائية والبصرية والبصرية الممتازة الخواص الكيميائية. اجتذب اكتشاف الجرافين الكثير من الاهتمام في كل من الأوساط الأكاديمية والصناعة ، مما أدى إلى زيادة البحث في مجالات علوم الفيزياء وعلوم المواد.

يعد ترسب البخار الكيميائي (CVD) حاليًا الطريقة الأكثر أهمية لإنتاج الجرافين العالي الجودة والمساحة الكبيرة. ومع ذلك ، فإن ركائز المعادن هي محفزات لا غنى عنها لنمو الجرافين. يجب أن تنقل التطبيقات اللاحقة الجرافين من الركيزة المعدنية إلى العزل المطلوب أو الركيزة شبه الموصل. يمكن أن تتسبب عملية النقل المرهقة بسهولة في تدمير وتلوث بنية الجرافين ، ومن الصعب أن تكون متوافقة مع عملية الدائرة المتكاملة الناضجة على نطاق واسع ، والتي تؤثر على الترويج على نطاق واسع وتطبيق الأجهزة القائمة على الجرافين.

اقترح Wang Gang و Di Zengfeng ، مختبر مفتاح الدولة للمواد الوظيفية للمعلومات ، طريقة لإعداد الجرافين مباشرة باستخدام ترسب البخار الكيميائي على ركيزة الجرمانيوم على نطاق واسع. وأعدت بنجاح مساحة كبيرة وموحدة وعالية الجودة من الجرافين. Tantalum هو مادة أشباه الموصلات المهمة. بالمقارنة مع مواد السيليكون التقليدية ، فإن الجرمانيوم لديه حركية عالية الحاملة ويعتبر أكثر مواد أشباه الموصلات المحتملة لاستبدال السيليكون. من المتوقع استخدامه في الدوائر المتكاملة على نطاق واسع في المستقبل. يدرك الجرافين المستند إلى الجرمانيوم مباشرة دمج الجرافين عالي الجودة وركيزة أشباه الموصلات ، وعملية التحضير متوافقة مع عملية أشباه الموصلات الحالية ، ويمكن أن تعزز بسرعة التطبيق الواسع للجرافين في صناعة أشباه الموصل التطبيقات. قيمة.